二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9308001 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应堆是一种通用的半导体基板加工工具，主要用于生产高性能微处理器和集成电路（IC）。该设备专为高通量运行而设计，其先进的晶圆处理子系统可实现快速装卸，从而实现高通量。该系统由各种模块组成，包括反应堆室、过渡室、边缘出室和一个单独的底物输送单元。反应堆室是机器的主要部件，并容纳专有的加工室，该室有一个旋转轮，在加工过程中将晶圆穿过加工表面进行均匀加热和冷却。过渡室作为晶圆和边缘退出室之间的接口，其中容纳蚀刻、CMP和其他用于生产最终产品的工艺模块。AMAT P-5000工具同时使用高真空和超高真空技术，为受控基板加工创造必要的环境。在加工室内部，基板可以暴露在高达850°C的温度和低至10-8 torr的压力下。该工艺室配有蚀刻资产、自旋涂层模型、CPL（化学蒸气沉积）设备和光阻系统，所有这些都允许完整范围的基材加工能力。图像处理单元提供有关基板表面的信息,供工艺元件控制其功能。同时，边缘出口室还配备了各种传感器和扫描仪，以控制最终工艺的质量和均匀性。APPLIED MATERIALS P 5000单元是现代半导体生产线的重要组成部分，为创造下一代产品提供了一致可靠的平台。它旨在降低生产成本并提高吞吐量,从而实现高效生产。利用先进的技术，AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000反应堆可以确保产品以最高的材料质量和精度一致地生产。
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