二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9308754 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种AMAT反应器，主要用于处理半导体材料。它是一种高科技设备，可用于多种应用，包括化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）、物理气相沉积（PVD）。AMAT P-5000能够在高达200摄氏度的温度下处理材料。APPLIED MATERIALS P 5000是一种单晶片、高通量、批处理式反应堆。反应堆室设计有六个热隔离区，可以独立加热或冷却。这有助于实现整个腔室的均匀热分布。该室还配备了4气料斗、先进的压力控制设备、电光视口和差分气流配置。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000具有独特的专利冷墙配置,能够在较低的温度下进行高通量处理。它还具有可选的电子束加热技术，允许高温处理，具有极好的热均匀性。AMAT P 5000还具有"晶圆之间的石英间隔"（QSBW）模式，有助于增强均匀性和减少颗粒形成。此外,还可以使用集成的负载锁定系统定制P-5000,用于大批量的装卸。该单元还配备了真空隔离处理臂，以及自动射频/直流等离子体源。AMAT P5000还有一个封闭热平台（CHP）冷却歧管，设计用于在整个腔室和晶圆级提供均匀的冷却。APPLICED MATERIALS P5000是一种用途广泛、可靠的反应堆机器，为微观和纳米级的材料加工提供自动化、自我监控的过程。它是从薄膜和薄膜到复杂结构的各种类型的CVD应用的可靠、经济高效的解决方桉。
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