二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9312458 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种先进的等离子体反应器，设计用于大面积、低压和半大气化学气相沉积、溅射和蚀刻等工艺。AMAT P-5000设备提供了极端真空性能、高功率射频和过程灵活性的无与伦比的组合，扩展了等离子体增强技术的能力。该系统具有一个大的6英寸腔室，可满足200毫米以下的晶片负载。它还包含一个用于UV-CVD应用的短弧氙灯，以及一个用于快速准确装卸的低负载锁。APPLICED MATERIALS P 5000高度可定制,这要归功于工艺室设计,使其能够适应一系列沉积和蚀刻应用,包括钙钛矿氧化物和电介质的沉积、MEMS器件的蚀刻以及功能化纳米管的生成。机组配备了一套先进的控制系统，如电源机，有两个独立调节的电源；室内条件控制；反应性化学控制；和配方记忆控制。此外，它还集成了实时监测技术参数的诊断，并提供了对反应的完整的过程后分析。此外，它使用射频发电机，由于其高功率输出，使得能够使用高处理速度和缩短循环时间。利用其强大的等离子体源和先进的控制工具，APPLIED MATERIALS P-5000实现了高纯度反应物种类的均匀溷合，从而降低了粒子计数，提高了吞吐量。这使得资产成为研究、开发和生产高性能薄膜的理想之选。此外，P5000还具有多种安全功能，包括火灾报警器、非易失性安全锁和安全回路，有助于预防危险过程或模型故障。这些措施显着降低了流程风险，使用户能够最大限度地提高生产率。总而言之，P-5000是要求等离子体过程的完美平台。AMAT/APPLICED MATERIALS凭借其宽大的腔室、先进的工艺控制设备和众多的安全特性,为广泛的应用提供了无与伦比的性能和可靠性P-5000。