二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9351761 待售

ID: 9351761
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
CVD System, 8" Process: LTO CVD, TEOS 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种最先进的反应堆,旨在实现半导体生产中准确高效的样品处理。AMAT P-5000采用强大的倒线性设计和可互换吊舱,通过提供最高精度和精确度提高了生产过程。该机具有超稳定的真空包层样品级,能够支撑多达四个晶片,并允许基板在各个方向高度可重复移动。数字控制的、电容耦合的、低温负载锁定有助于控制晶片进出反应堆的转移,并在热保护下免受背面污染。APPLICED MATERIALS P 5000通过其先进的由两根RuO ¬ 2层钼热条和一根大功率石英管组成的双加热设备实现了卓越的温度均匀性、热精度和温度范围。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000所获得的卓越的温度均匀性和精确度有助于确保即使在处理高度敏感的过程时也能获得准确的基板加工结果。详尽的安全措施使P5000成为最安全的反应堆设计之一。其最先进的警报系统考虑到温度、真空压力和其他单位参数的任何变化或不规则性,并在发生任何变化后立即通知工作人员任何不规则性。P-5000还具有获得专利的掩蔽技术,可降低人员接触有害颗粒的风险。AMAT P 5000除了具有卓越的精确度和精确度外,还可实现快速可靠的样品处理,周期时间短,工艺选项广泛。这台高性能机器非常适合用于高容量生产环境或处理速度提高的设施。为确保卓越性能,AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000采用开放式体系结构进行设计,增强了机器的灵活性和集成能力。反应堆配备了高精度、多传感器数据采集硬件和软件,能够监测过程的每个阶段,以确保所有参数保持在设定的限度内。总体而言,APPLIED MATERIALS P-5000是工业领先的生产环境反应堆。
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