二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9373099 待售
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ID: 9373099
CVD system, 6"
SV21 SBC Board
Main frame type: Mark-II
Cassette indexer, 6" clamp
8-Slots elevator
(2) CRT Monitors
Robots: Phase-III
Robot blade: Standard vacuum
Center finder: USE
Cap wafer sensor
AC Rack: 1 Shrink
Heat exchanger
EMO Option: Turn to release
EMO Button guard rings
Status light tower (Color / Position): Red, yellow, green, blue
Signal cable: 25'
Flash Hard Disk Drive (HDD)
Floppy: 3.5" SCSI Driver
Gas panel: 12 Channels standard / Minicontroller
RF Generator:
Chamber A: OEM12B-07
Chamber B: OEM12B-02
Chamber C: OEM12B-02
Chamber:
Chamber position: A, B, D
Chamber type: DLH 1-Hole
Process: SiH4 Oxide
Heater type: Lamp
Susceptor type: Al
(3) Matches
Delta nitride dual spring throttle valve
Gas panel: 20 Standard channels
Gas supply: Top down
MFC: SEC4400MC
Manual valve: NUPRO
Pneumatic 2-Way valve: NUPRO
MKS 122B Baratron gauge, 10 Torr
Gases:
Gas / Range
N2 / 3 SLM
SiH4 / 100 SCCM
CF4 / 2 SLM
N2O / 2 SLM.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种市售的高容量特高压反应堆，设计用于各种超高温工艺。该设备旨在提供卓越的清洁度和温度均匀性,同时还提供高水平的吞吐量和生产率。它由不锈钢制成，有多种用户选择的饰面。该系统具有高性能的喷水辅助沉积单元，为均匀、可重复的沉积过程控制提供高效的能量输入和基板加热。该机还提供高速扫描和全脉冲等离子体激发能力。该工具的核心是一个超高真空、高性能的反应堆室。该腔室的设计目的是为超高真空环境提供长泵送周期，实现各种超高温过程，如溅射、高温蒸发和其他几种化学气相沉积过程。AMAT P-5000的高温、均匀性和模块性允许在一项资产中测试各种工艺参数和材料。APPLIED MATERIALS P 5000型号还配备了先进的材料处理和定位系统。这包括晶圆定位设备和可用于操纵部件的机械臂，这两个部件都能够在所有三个互补的运动轴上运行。该系统还包括用于精确零件定位和点对点运动的线性级，以及用于精确零件定位的3维编码器。此单元允许将组件高效、可重复的装卸到腔室中,并使用户能够获得所需的处理结果。P5000机器的设计支持各种工艺配方，包括保形沉积和蚀刻加工。稳定的高温环境和可调节的气体输送工具使其适合多种应用。资产还包括综合流程监测工具，如现场监测工艺室和喷射沉积薄膜。集成的过程中监控模型提供实时流程反馈，允许用户及时调整，以提高生产产量和质量。AMAT P 5000反应堆是一个理想的选择，为用户寻找一个优化和高产的过程平台的一系列沉积和蚀刻过程。它结合了高效的能量输入、高温均匀性和集成的过程控制能力，成为高效和可重复生产运行的理想选择。其用户友好的设计意味着即使没有经验的用户也可以快速设置和运行设备，以达到最大的工艺产量。
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