二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9377266 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9377266
晶圆大小: 8"
优质的: 1992
TEOS CVD Systems, 8" 1992 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应器是一种先进的等离子体加工设备,用于材料改性和薄膜沉积。该系统具有圆柱几何形状的加工室,在保证等离子体处理效率的同时最大限度地提高了观测面积。为确保工艺安全,AMAT P-5000有一个密封室,该密封室具有完整的金属封闭机构和弹性体密封。该单元非常适合薄膜的沉积,能够从金属、电介质、硅胶和有机物等材料中创建定制的图案结构。APPLICED MATERIALS P 5000也被用于晶圆级处理,允许高精度、精确度和低颗粒污染。该机由几个子系统提供动力,包括:用于驱动过程气体的电源、用于直流和射频偏置的高压电源以及用于控制过程气体的质量流量控制器。冷却工具还有助于保持资产的温度和腔室环境。为确保准确性和性能,P5000采用了先进的晶圆计量模型。凭借其模块化设计,该设备可用于测量晶片、基板和高精度的薄膜。该系统具有先进的相移干涉测量和各种样品扫描选项。APPLIED MATERIALS P-5000还具有多种安全和环境功能,例如气体过滤、闪存监控和远程监控系统。外部冷却还通过防止污染帮助确保过程安全。此外,该单元还支持多种真空泵送和清洗功能,包括涡轮分子泵和冷冻泵送。P-5000反应堆是一种高度先进和可靠的反应堆,用于处理各种薄膜和其他结构材料。这台机器具有无与伦比的精度和安全性,是广泛行业使用的理想选择。
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