二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9377269 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种高性能生产反应堆，利用Ultrashort Pulse （USP）激光处理技术，使微粒或散装材料能够精确和可预测地沉积到基板上。它是一种金属有机化学气相沉积（MOCVD）设备，使金属有机膜在基板上高温生长。AMAT P-5000的模块化系统建立在一个高效的平台上，提供了对特征大小、出色的材料相互作用和可靠的薄膜性能的卓越控制。其负载锁定能力有助于在保持低功耗的同时实现卓越的薄膜均匀性。该单元拥有强大的软件平台，使用户能够对过程参数进行编程和控制，如压力、温度、气流、材料注入等。它还可以配置为生产广泛的材料成分，如III-V合金、多晶硅、氧化物、氮化物以及多种其他专用材料。此外,APPLIED MATERIALS P 5000还能够实时监控和调整薄膜厚度,以确保可靠且可重复的性能。反应器室的设计是为了创建一个均匀的流场，并确保在整个基板上均匀的沉积速率。它能够进行高温高压处理，设计目的是尽量减少物质损失和污染。该室具有多种气体和源喷射器，可精确控制沉积速率，可进行大面积晶片和基板涂层。P 5000配备了一大堆安全功能，确保安全准确运行。其中包括温度和压力联锁、自动关闭协议以及腐蚀和污染保护。该机器还包括一个腔室掺杂工具，使底物与氮气或碳化合物精确掺杂，以及传感器监测腔室内的底物温度、腔室压力和材料/气体水平。先进的USP激光P5000工艺及其其他特点使其成为执行各种沉积工艺的通用工具。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000是高性能生产环境的最佳选择。