二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9377274 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000反应器是一种先进的离子植入设备，旨在在广泛的工艺和集成要求下提供卓越的性能。利用最先进的离子源技术，AMAT P-5000反应堆提供高达每小时500晶圆的工艺速度，使其成为当今市场上最快的沉积系统之一。该系统允许用户通过使用先进的前等离子体和后等离子体控制来量身定制植入过程，以满足他们的特定需求。这允许用户针对所有生产条件优化植入工艺。预等离子体优化在整个晶片上提供增强的离子能量均匀性，并允许在植入过程中进行更大的过程控制。同时，等离子体后阶段允许针对不同的设备结构量身定制工艺，进一步提高控制和可靠性。APPLICED MATERIALS P 5000还具有内置的控制接口,易于可靠操作。这允许用户根据需要调整参数，允许更高效的植入过程。嵌入式端点监控功能使用户能够快速修改步骤重复程序和其他关键参数,从而帮助缩短周期时间并最大限度地提高流程效率。AMAT P5000采用封闭式、低燃气负荷的炉子来保持真空，以确保更好的薄膜质量。这减少了基材中颗粒和杂质的数量，形成了质量更高的薄膜。这通过内置的准直单元得到进一步增强，该单元提供了离子的均匀且有针对性的植入。最后，P-5000利用先进的模拟和数字反馈系统进行设计，以改进过程控制和定制。例如,用户可以调整总植入率和扫描宽度。这使得处理过程变化更加容易，进一步提高了过程的准确性和控制。APPLIED MATERIALS P-5000是一款功能强大且可靠的机器,具有卓越的性能和性能。AMAT P 5000通过先进的离子源技术、前后等离子体优化、内置控制界面等特点，为用户提供了简化的离子植入工艺方法，提高了生产率、产量和可重复性。