二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9383379 待售
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ID: 9383379
CVD System
SNNF, 8"
Wafer shape: 25-Slot SNNF
Main frame:
Loadlock: Standard
Buffer chamber robot: Standard
Process chamber (PECVD): Position A, B and C
Cassette stage:
Position: A and B
Clamp on cassette
25-Slots
Storage elevator:
Center find
4-Slots
Buffer chamber:
Buffer type: Standard
Load lock : Slow and fast
Vent type: Venting and diffuser
Load lock pumping type: Fast load lock pumping
Slit valve: Bonded
Wafer detector: Blade cap and vac sensor
Gas / Pressure:
Gas feed: Top
Filters: MILLIPORE / PALL
Pneumatic valves: Nupro / Veriflow
Chamber pressure gauge: MKS 10 Torr
Chamber foreline TC gauge: VARIAN
Gas for chamber A:
Gas / MFC
SiH4 / 500 sccm
N2 / 100 sccm
N2O-H / 3000 sccm
NF3 / 20 sccm
N2O / 300 sccm
Cl2 / 100 sccm
Gas for chamber B:
Gas / MFC
SiH4 / 500 sccm
N2 / 100 sccm
N2O-H / 3000 sccm
NF3 / 20 sccm
N2O / 300 sccm
Cl2 / 100 sccm
Gas for chamber C:
Gas / MFC
O2 / 00 sccm
CF4 / 20 sccm
Ar / 100 sccm
RF Generator and heat exchanger:
ENI OEM-12B RF Generator: Chamber A and B
ENI OEM-6 RF Generator: Chamber D
RF match type: Phase-VI
(2) RF Cable: 50ft
CVD Heat exchanger type: AMAT-1
Heat exchanger signal cable: 32ft
System local monitor: CRT with light pen
Remote control cables (Analog, digital): (2) 50 FT Etchers
Lift assembly
Susceptor lift assembly
Transfer robot
Slit valve cylinder
Wafer lift bellows
Susceptor lift bellows
Robot blade, 8"
Throttle valve (Dual spring type)
Belts in throttle valves
DC Power cable: 50ft
EMO Cable: 50ft
Hard disk in VME Missing
Power supply: 208 V, 50/60 Hz, 250 A / 5-Wires.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种等离子体CVD反应器,用于一系列材料层的表面改性和沉积。AMAT P-5000采用的等离子体CVD技术是一种低压工艺,利用用等离子体电离的气体溷合物产生表面改性所需的反应和沉积。进行过程的容器是用不锈钢建造的,采用双壁方式,以确保均匀的压力和温度控制。腔室装有一个足以满足各种工艺需要的组件,布置在一个集成的电极上。然后容器内部被密封,泵开始清除空气和其他气体,在密封容器内产生真空。等离子体的产生是通过在容器部分以高速和低压引入所需气体的溷合物来实现的。使用射频发生器和电感线圈产生真空。气体的溷合物随后被磁力产生的高能场电离。这种等离子体提供了高浓度的电子和离子,它们可以分解分子并与容器中的成分发生反应。APPLICED MATERIALS P 5000因其灵活性和坚固的设计而闻名,因为它可以容纳多种组件形状和尺寸。P-5000可实现的工艺包括氮化、蚀刻和硅沉积等。此外,该系统可以作为各种掺杂过程的注射器。APPLIED MATERIALS P-5000的多功能性使其成为许多工业和学术界研究实验室的主力军,其产生高质量结果的能力使其成为众多表面改造需求的首选。AMAT P5000是一种高效、耐用和可靠的解决方桉,用于改善材料表面和组件的整体性能。
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