二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9385160 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种用于生产或研究实验室的高端、高通量、多晶圆加工反应器。它与标准200 mm晶圆兼容,并提供12英寸晶圆功能,可选配多达24英寸晶圆。该反应堆具有较高的温度均匀性和过程可重复性，具有较高的热稳定性，可实现较高的性能。AMAT P-5000通过集成的多模块基板加载提高了吞吐量,从而减少了停机和停机成本。反应堆能够以各种构型进行蚀刻、沉积和溅射等工艺步骤。其先进的控制设备提供了卓越的过程控制以及随时监控过程状况的能力。该系统可以很容易地连接到其他可控的外围设备，如质量流控制器（MFC）和负载锁定系统，从而能够有效地处理广泛的过程限制。APPLICED MATERIALS P 5000还提供了最多3000W个基板加热器，以加快工艺运行，减少气体消耗，改进热循环处理。统一的多工艺室单元可实现并发多晶圆隧道，提高生产吞吐量。各种工艺室配置每个工艺最多可容纳两个2英寸或一个3英寸晶圆。通过控制机提供的现场监控有助于优化过程而不牺牲吞吐量。该工具的主要特点之一是能够处理广泛的反应性蚀刻和沉积过程，包括湿蚀刻、定向蚀刻和侧壁沉积。这种过程需要高度的化学控制和探针安全。该反应堆具有增强的安全特性，包括原位气体输送、净化气体输送和惰性气体反压能力，以加强晶圆处理。P-5000反应堆非常适合满足当今苛刻的研发和生产要求。它的高级流程控制和多个内部流程室配置为用户提供了无与伦比的流程控制。该资产可以轻松集成到现有的模型体系结构中,同时保持质量性能和可靠性。利用APPLIED MATERIALS P5000,用户可以实现更高的晶圆吞吐量、更好的过程重复性和更大的过程控制。