二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9389533 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一个200毫米、低成本、快速热处理（RTP）反应堆。该设备专门设计用于先进的半导体器件制造应用，并针对集成电路（IC）生产进行了优化。它具有高度精确的过程控制系统和精确的温度控制，以确保在所有应用程序中的一致和可重复的处理。该单元具有很高的柔韧性，可用于多种材料，包括硅、的、溷合金属化合物等。AMAT P-5000反应堆由辐射燃气炉、回火装置和工艺控制器组成。辐射燃气炉2用氢气、氮气和氙气组合加热，使得炉温在晶圆加工过程中一直保持较高的温度。回火单元是一个两级单元，允许温度控制整个炉的范围，允许精确的过程控制。过程控制器是一个功能强大的用户友好界面，它允许用户对机器进行编程以执行一系列应用程序。此外,APPLIED MATERIALS P 5000还具有内置的数据记录工具,允许用户记录每个过程中收集的数据,从而为过程开发和应用提供支持。APPLIED MATERIALS P-5000提供了一系列的工艺能力，包括氧化、氮化、合金化、掺杂和扩散工艺。这些工艺可应用于器件制造，包括制造晶体管源、大厚度配件、测试结构等。此外,内置的流程控制资产允许改进流程可重复性,因为用户可以监视和修改环境变量,以确保每个步骤的质量一致。P5000 RTP反应堆具有很高的灵活性,允许制造多种材料,包括但不限于硅、和和和和金属溷合化合物。通过将这种灵活性与坚固的工艺控制模型相结合，UHP级材料可以得到准确处理，从而提高产量和性能。此外，炉可以批量运行或连续运行模式，允许用户根据自己的需要量身定制工艺。最后，AMAT/APPLICED MATERIALS P-5000的设计具有环境友好的特点，允许用户以最小的环境影响执行流程。