二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9396223 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是一种最先进的反应堆,专为半导体制造领域的广泛应用而设计。它是一种水平热处理反应器，可用于大规模扩散掺杂、氧化和退火过程。反应堆拥有40x40x60工艺区，具有全方位的气体处理能力。该反应堆经过设计，可提供低温、高均匀性和低气体消耗。反应堆吞吐量全面，非常适合批量生产应用。它具有广泛的加工参数，工艺温度范围为100至1100摄氏度。这确保了它能够处理各种复杂的半导体材料。反应堆的自适应动态过程控制（ADPC）系统促进了自我优化操作模式，能够在广泛的配方和工艺条件下提供统一和一致的质量。反应堆的燃烧室被设计为高效，需要最低限度的气体使用，同时提供低污染水平。这是通过将"箱式"反应堆几何形状与整个加工体积中的连续气流相结合而实现的。该腔室还采用了一种专利的反向清洗设计，专门用于最大限度地减少排气。AMAT P-5000还具有高度的构建灵活性,可用于单室和多室配置。这要归功于模块化设计的灵活性和易于互换的组件。此外,APPLIED MATERIALS P 5000还具有可定制的燃气箱门设计,使其能够适应现有的各种安装。最后，APPLIED MATERIALS P5000反应堆采用行业标准监控系统设计，允许操作员监控和调整工艺参数，以保持最佳性能。反应堆的内置控制系统可以方便地自动调整工艺条件以提高产量。因此，P-5000反应堆是各种半导体制造工艺的理想选择。