二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9399067 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS P5000是一种设计用于半导体加工的多室、小容量生产反应堆。它能够将材料层沉积、蚀刻和清洗到半导体晶片上，精度和精确度极高。AMAT P-5000由多个不同的小组组成，所有小组共同努力，以取得预期的成果。应用材料P 5000由等离子体增强化学气相沉积（PECVD）室、快速热处理（RTP）室和蚀刻室组成。每个会议厅都有必要的工具和组成部分，以实现各自的进程。PECVD腔室使用等离子体气体创建材料层，等离子体气体是含有许多带电粒子和离子的气体。这种气体被高频电场激发，以便加热并分解成蒸气。然后将这种蒸气在真空中送入反应堆室，用于将材料沉积到基板上。RTP室用于快速热退火，或加热和冷却底物以引发反应。在该腔室中，基板被加热后立即冷却，以改善PECVD腔室沉积的薄膜。然后使用蚀刻室从基板上蚀刻或去除不需要的材料。蚀刻机利用各种气体，包括氟化全氟碳化物（FPC）和产生等离子体的气体，来去除多层有害物质。除会议厅外，反洗钱行动P5000还拥有先进的控制系统，使用户能够监测和调整会议厅内发生的进程。这包括调整温度、压力和气体流量等参数以达到最佳结果的能力。总体而言，P 5000是一种高度先进和精确的反应堆，能够在基板上创建和蚀刻材料层时达到精细的精度水平。它的许多可调控件和腔室结合起来，为用户提供了沉积、蚀刻和清洗半导体晶片的终极工具。