二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9400991 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是专门设计用于半导体工业的不连续运行的批式反应堆。它具有一个钛包层的腔室，允许极端温度、真空和压力用于超低缺陷的应用，如真空沉积、蚀刻和化学气相沉积（CVD）。AMAT P-5000的工作体积高达500升，最低腔室温度为-100 °C，最高腔室温度为6100 °C，最大工作压力为7.5大气压。它还有一个带手动闭合机构的气密盖和一个O形圈密封，最大限度地控制室内环境。除了它的反作用室，APPLIED MATERIALS P 5000还具有等离子体发生器和众多的进气口，用于控制泵入腔室的气体的压力、温度和流量。等离子体发生器的功率范围从100瓦到1000瓦，可以在高达60MHz的频率下工作，从而在操纵内部的材料时具有很高的精度和精确度。该系统实现了符合人体工程学的高效运行。在反应堆的硬件中实施了集成的安全功能，以实现快速启动和受保护的关闭。交互式触摸屏用户界面提供了一整套可用于质量控制的数据采集、分析和报告工具。总体而言，AMAT P 5000是一个可靠和先进的反应堆系统，它通过精确的温度、压力和等离子体调制提供精湛的过程控制。开箱即用，即可满足高端要求。AMAT P5000具有简单的功能和强大的构建能力,是半导体行业先进应用的绝佳选择。
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