二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9407851 待售
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ID: 9407851
CVD System
PC Rack
Source cabinet
Molded transformer
NESLAB and desk
UPS
Missing parts:
(2) Gas processing devices
(2) Vacuum pumps
Controller box
Parts box.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000等离子体蚀刻反应器是为制造半导体器件而设计的一种高度先进的大气压蚀刻设备。该反应堆具有广泛的工艺能力，包括精密蚀刻、高分辨率图样和小而复杂的基板结构的精确掺杂。AMAT P-5000能够进行深度蚀刻和各向异性蚀刻以及绝缘图样和精确掺杂，使其成为各种高性能电子应用的理想工具，如ULSI电路和复合半导体器件。APPLICED MATERIALS P 5000利用电子回旋共振（ECR）微波等离子体源来来源自由基和离子，以有效蚀刻和掺杂半导体材料。该ECR源工作在13.56 MHz，为APPLIED MATERIALS P5000提供了一个非常稳定和精确的等离子体环境。因此,P 5000能够蚀刻高长宽比特性,可用于制造高分辨率设备的小特性。此外,P5000还具有高蚀刻选择性,这意味着可以选择性地蚀刻不同的材料,而不会损坏底层。P-5000具有用户友好、菜单驱动的操作系统,可实现快速、轻松的操作。它还具有自动调谐功能,使操作更加轻松,并允许用户在不同的蚀刻配方和工艺步骤之间快速更改。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000配备了车载计算机控制单元，使其能够与其他同类型设备互连。这台计算机控制机器还使用户能够精确控制过程参数，确保更一致的结果。AMAT P5000能够处理各种尺寸的基板。它与直径可达8英寸的基板兼容，适合生产级的高分辨率基板蚀刻。该工具被封闭在温度和湿度控制环境中，确保过程中的温度和气体稳定性。总体而言，AMAT P 5000是一种先进的等离子体蚀刻资产，能够对半导体材料进行精确、精确的蚀刻和掺杂。APPLICED MATERIALS P-5000具有广泛的工艺功能和用户友好的操作模型,提供了一种可靠高效的高分辨率电路和设备蚀刻方法。
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