二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9408602 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是为先进半导体器件制造而设计的高端PECVD反应器。该设备采用高度可靠、紧凑和模块化的体系结构来提供最佳的系统性能。AMAT P-5000具有一个SiH2Cl2的大气压CVD工艺室和一个扩展的淋浴头,以确保整个晶片表面的均匀性,并驱动更高的精度、可重复性和吞吐量。集成到工艺室中的双脉冲等离子体源提供快速晶片表面激活,并具有模块化体系结构和坚固的硬件组件,确保了长期的兼容性和可靠性。APPLICED MATERIALS P 5000的自动晶片加载、处理和机械臂单元提供了极低的循环时间,同时保持了最高的精度和可重复性。它具有处理硅、氮化物和铝等所有类型的基板的能力,允许应用灵活性和适应各种工艺挑战。该机集成了DVD和SEM分析等先进的分析工具,以及配方自动化和彷真技术来推动过程的改进。P 5000还支持与现有制造环境的完全集成,以实现高效的控制和数据传输。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000的设计是为了在半导体加工中提供卓越的性能和产量。它具有很高的可靠性、均匀性和精确度,并具有卓越的吞吐量和可控性,是先进半导体器件制造的首选。
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