二手 DISCO DAD 681 #9294714 待售

DISCO DAD 681是一款为半导体晶圆加工业设计的涂抹/切割设备。该系统能够支持广泛的晶圆处理需求，包括芯片级划线和对齐操作，以及精密切片操作。DISCO DAD681单元的设计是通过结合强大的运动控制器、高精度的光学器件和精确的机器人手臂，提供一个高度精确、可重复的过程。机器建在坚固的底座上，各种晶圆尺寸的高度可变调整；具有精确的多轴机器人手臂；并由定制设计的运动控制器提供动力,该控制器最多具有四个运动轴。运动控制器能够提供高速、高精度的定位和轨迹控制,而激光同步单元则通过提供连续的反馈回路帮助确保大批量的一致结果。此外,机械臂还具有软件控制的晶圆对齐功能,可以更精确地放置标记和骰子。在划线操作中,该工具采用了红外激光器,该激光器可精确控制,功率可调,光斑尺寸为直径从1 µm到1.1 mm不等,产生高精度的高细节标记。激光安装在DAD 681机器人上，由运动控制器自动化，允许灵活参数和精密控制划线操作。该资产还适用于超精细精密切割操作，这是使用模型的板载燃气消融引擎实现的。发动机包括两个磁头：一个用于产生光束，另一个用于将光束聚焦到材料上，以确保尽可能高的精度。通过DAD 681的CCD摄像机和快速成像软件实现了切割过程的自动化，能够检测和识别芯片，并对切割操作进行相应的精确编程。DISCO DAD 681设备易于使用,并带有用户友好的GUI,可用于系统的设置和编程。利用所有这些功能,DISCO DAD681提供了可靠、准确的晶圆处理操作,该操作具有很高的可重复性,并具有很高的吞吐量和产量。