二手 DISCO DFD 6340 #9250221 待售
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DISCO DFD 6340划线/切片设备设计用于半导体基板和电路板等硬质和脆性材料的精确高速切割。利用高脉冲激光和精密机械系统,DISCO DFD6340能够切片材料,划线深度可达150 µm,切块宽度可达50-76 µm。全自动单元具有最大1 kHz的可编程划线/切割速度,可容纳直径达200 mm的基板。DFD 6340利用UV脉冲激光源,最大脉冲能量为130 mJ。这种强大的激光器被用于蚀刻材料表面的一系列激光线,为刀刃切割工艺创造了一个模板。先进的偏振调制器可确保极高的光束纯度,从而形成光滑的划线。精密的三轴伺服电机控制刀刃切削机进行划线/切削。获得专利的喷嘴吸力设计有效地将工件固定在切碎块上,同时在整个切割过程中清除碎屑。此外,在划线/切割过程中,基板用去离子水连续冲洗,以增加激光和边缘叶片的寿命。DFD6340与各种硬质和脆性材料兼容。这包括但不限于硅、石英玻璃、氧化硅和许多聚合物材料。此工具还具有自动刀片边缘探测器和警告资产。如果发现刀片边缘变形、退化或损坏超过一定级别,则模型会自动停止操作并需要更换刀片。总体而言,DISCO DFD 6340是一款功能强大且精确度很高的刻字/刻字设备。该系统具有先进的特点,是精密蚀刻、修剪、切割硬脆材料的理想选择。
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