二手 DISCO DFD 6340 #9280878 待售

DISCO DFD 6340是将划线技术的精确度与晶圆划线的高通量相结合的划线/划线设备。DISCO DFD6340为半导体制造商和微电子设备制造商提供高精度和高生产率。系统的核心是其伺服控制的划线主轴，以每秒5到120冲程的范围运行。此主轴沿滑轨移动划线刀头,精度高达0.1微米。自动单元对准机制可确保刀头的正确移动,并且当刀头与某个部件碰撞时,内置的碰撞传感器会关闭该单元。DFD 6340还提供了高清等离子切割能力。等离子体切割头可以达到高达10,000度的温度，同时保持高达0.1微米的精度。机器的自动化控制确保了快速、方便的操作，并减少了安装和生产时间。该工具还支持各种过程中的测量，如边缘检测和处理、晶圆倾斜、晶圆弓和凹槽评估。这有助于改进过程控制,从而提高产量并减少废料。资产还包括专用的降噪模型，以确保生产中的最高精度。设备的另一个特点是能够处理不同尺寸和形状的基板。该系统可容纳多达900毫米× 1300毫米的基材，能够加工各种材料，如石英、硅等。DFD6340设计用于在现有各种半导体生产环境中快速集成。设备可以很快设置，运动控制器和可选的板载PC有助于减少操作机器所需的空间。集成空气净化器确保从工具排气中排出的空气干净、安全使用。总体而言,DISCO DFD 6340是一项强大而可靠的划线/切割资产,为半导体和微电子设备制造商提供高精度和高通量的解决方桉。其先进的特性和集成的安全系统使其成为半导体制造商的可靠、经济高效和安全的选择。