二手 DISCO DFD 640 #9266371 待售

DISCO DFD 640是一款由DISCO Corporation设计，专为半导体和器件制造的专业工业用途而设计的涂抹/切割设备。该系统由三个主要组件组成-一个基板支架、一个划线头和一个运动控制单元-每个组件都集成在6轴布局中。基板支架采集最多8 "x 8"的样品，然后通过气垫单元将其固定在支架上。这种缓冲机通过支架产生真空，有助于将热膨胀效果降至最低。这样可以确保对每个样品进行准确的测量。划线头是以UV激光为光源的高分辨率X-Y单点扫描资产的工具核心。这种激光器每轴分辨率高达1 µm，在划线双面图桉时提供无懈可击的精度。为提高精度,划线头还采用了自动特征识别（AFR）模型,该模型可根据样品轮廓自动调整激光位置。运动控制单元负责在基板表面的精确移动。它配备了一个精密电机编码器和一个微步进驱动器，从而产生详细的，精确的模式划线。该单元还使设备能够沿着X-Y-Z轴移动，速度高达8 m/s。该系统还附带集成软件，允许与二维蒙版编辑器结合使用，用于控制划线操作。此外，单元中嵌入式过程控制软件允许它在处理后提供对划线模式的详细检查和分析。总体而言,DISCO DFD640是一个功能强大的机器,具有高速度、准确性和可靠性.它既适用于批量生产，又适用于小批量涂抹和切割，是半导体工业制造的有利工具。