二手 DISCO DFD 640 #9279499 待售

DISCO DFD 640是一款专为半导体行业而设计的专业级划线/切割设备。系统由一个可以水平移动晶片的自动化U型框架（或XY）级和一个垂直级悬挂组成，用于在划线时保持晶片。采用精密控制器控制晶片级的运动，为划线提供精确的精细定位。为了使晶片做好划线准备,设备配备了边缘剖面仪,用于检测晶片边缘的形状和粗糙度,并为机器定位器提供数据以准确定位划线。附加附件允许手动将对齐标记放置在工具用来定位抄写员矢量的晶圆上。实际的划线由激光划线器执行。柔性控制柜允许精确调整划线梁。Scriber配备了四个波长（绿色（532 nm）和紫罗兰色（410 nm）激光器，以及650 nm二极管激光器和光纤激光器设置为从100mW到200mW的不同输出功率。DISCO DFD640还能够执行切块操作。水冷主轴用于驱动两个或四个电动机，这些电动机为金刚石边缘刀片供电，而金刚石边缘刀片是切碎晶圆的工具。主轴的z轴可针对可变切割深度自动调整。该资产还具有一个监控模型，该模型旨在检测划线和切割周期中的任何偏差。它可以随时检测这些偏差，并向操作员提供数据，以防止进一步的损坏。这些技术的结合使得DFD 640能提供高度精确的划线和切片操作，同时仍能提供最大效率。该设备还与多种材料兼容，使得它可以在许多不同的晶圆加工应用中使用。DFD640是寻求可靠、准确、经济高效的划线和切割解决方桉的公司的理想选择。