二手 DISCO DFD 681 #293749283 待售
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DISCO DFD 681是由DISCO Hi-Tec製造的高速划线/切片机。它旨在在用于制造集成电路的半导体基板上产生精确的光掩模图样。这台生产质量的涂抹/切割机配备了高精度、两轴定位级、精密空气轴承主轴和冷却级。此外，该机器还配备了一个集成视觉设备，用于定位、定向和连续检查光掩模。该视觉系统具有内置的扫描摄像头和边缘探测器，可确保高精度的光掩模配准。DISCO DFD681使用高功率激光器，能够在单个通道内快速曝光整个光掩模，对激光器的曝光区域进行持续监测，以确保低强度和高像差，从而确保高分辨率图样。双轴级允许在加工过程中精确放置，空气轴承主轴提供激光的精确控制。冷却阶段稳定基板温度，最大限度地减少热应力，从而引起基板扭曲。DFD 681有一个高效的自动化装卸单元和一个闭环控制，最大限度地减少来自环境光的光掩模曝光。该机器易于编程,为各种处理提供了灵活性。它提供了一个用户友好的控制工具，具有用于存储大型数据集的大内存容量。该资产的设计目的是以最高的精度制造最复杂的光掩模图桉。其可靠、通用性的设计满足了生产、开发线路对制造尖端集成电路的要求。DFD681是大批量生产最先进的光掩模图样的理想选择。
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