二手 DISCO DFL 7160 #9115075 待售
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DISCO DFL Series 7160是晶圆锯切和激光处理的划线/切割设备。它用途广泛,对包括硅、玻璃和半导体基板在内的多种材料进行快速、准确的处理。该系统使用三轴坐标单位对基板进行精确切割和对准。7160有浮头,保证最优压力均匀性和高通量。它具有高扭矩传动机、螺旋冷却工具和具有独立热控制功能的4通道预热资产。7160提供12英寸晶圆的最大可接受晶圆尺寸,最大厚度为2.5毫米。灵活的工艺监控、激光光斑大小和划线速度设置,使得高质量的划线标记的生产成为可能。也可用于小至25 µm的电路或特性的激光烧蚀。7160的先进CCD相机集成到模型中,能够识别晶圆图样和计算划线/划线路径。此功能允许精确的切割和精确的剪接。此外,它还具有光纤检测功能,仅当材料存在于探测器下方时,激光才能精确移动。集成的可自定义软件使用户能够在最短的设置时间内轻松设置自动划线/切割操作的设备。它还提供各种过程控制,如温度控制、前馈和反馈速率控制。7160设计紧凑,性能优越。它提供优越的边缘保留,清洁碎屑和最小的浪费。该系统还具有除尘能力、延长寿命和低噪音水平。DISCO DFL 7160系列具有先进的特性、坚固性和灵活性,非常适合先进的半导体和医疗设备制造工艺。
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