二手 DISCO DFL 7160 #9163719 待售
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DISCO DFL 7160是一款来自DISCO Corporation的自动划线和切割设备。它旨在为半导体、显示器和医疗电子行业的切割需求提供高精度、高效的解决方桉。DISCO DFL7160结合了全自动切割工具和数字视觉检查系统。它具有420毫米晶片卡盘和高拐点圆盘,用于安全组合晶片卡盘。其导管调理单元使用24个风扇转速电机和强大的真空来消散腔室内的空气和湿度,从而在严密的精度规格内保持恒定的芯片阵列。该机还集成了先进的FOUP处理工具,允许以最小的接触进行高速测量,以及晶圆传输资产和独立的伺服电机,用于精确的运输定位。DISCO独特的刀片整形技术允许使用广泛的晶圆材料来实现切削边缘的稳定性,从而提供超平滑的切削。该模型还具有用于精确切削对准的自动平整台、用于碎片收集的双刷站以及提供高切屑产量的单通/多通控制。实时数字视觉检测设备具有9 MP传感器和高达50倍的光学放大倍率,分辨率为0.1微米。它包括具有二进制/灰度图像比较、明暗边缘检测和高精度过程控制自适应阈值的高级算法。该系统还提供可编程故障检测逻辑和PI检查器模块,以确保部件的正确操作。该单元结合了所有这些特性,为膜片切割精度提供了最佳效果,平均处理速度高达每小时1,800晶圆。是高精度、高效生产半导体元件的理想解决方桉。
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