二手 KARL SUSS / MICROTEC HR-100 #9156276 待售

ID: 9156276
晶圆大小: 4"
Scriber, 4".
KARL SUSS/MICROTEC HR-100是一种设计用于半导体工业的高分辨率划线和切割设备。它是为最精确的材料加工而设计的,特别适合于非常小的模具。其强大的清扫、扫描、精细聚焦系统,使得精密工具在三个维度上的精确定位成为可能。MICROTEC HR-100单元由机动化的三轴扫描机组成,由于其四步光学变焦工具,能够切割复杂的几何形状。包括旋转表,可在180°C以上提供高达二维的样品旋转。它能够以40微米的分辨率书写多达8x8英寸的基板。它还具有CCD线型传感器,用于对样品进行刀片的精确定位,并结合其四步光学变焦,确保在高细节区域精确聚焦。划线/切割资产还包括一个光学显微镜,它具有可定制的变焦系数和特殊的滤镜,以确保微切精度和可重复性,以确保其高精度能力。该模型的高功率微定位激光器允许以10微米的分辨率对复杂几何形状进行极其精确的切割。KARL SUSS HR-100设备还使用集成干泵实现了微模真空夹紧级,以便在切削晶片时牢固地固定晶片。它还包括检查和诊断软件,以确保最佳切割结果。总体而言,HR-100是一个功能强大且精确的划线和切割系统,专为最苛刻的材料处理任务而设计。高分辨率、电动三轴扫描、集成微模真空夹紧,保证了最佳切割效果和可重复精度。它是非常小的模具和实现复杂几何形状的精确度和可重复性的理想单元。
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