二手 PERKIN ELMER 4400 #293812354 待售

製造商
PERKIN ELMER
模型
4400
ID: 293812354
Sputtering system.
PERKIN ELMER 4400是一种紧凑型溅射设备,为薄膜的溅射沉积提供易于使用、可靠性和卓越性能。它通常用于高质量的超小层沉积在各种基板上,如硅片、石英、聚合物、金属、有机物等。4400具有先进技术,可支持氧化物/氮化物、金属、聚硅氮烷和高温(HT)层、Al2O3/Ta2O5堆栈和精密材料(如PECVD SiOx)的沉积。它还允许用户以高效率和经济高效的方式高效地进行研究、设备制造和相关过程。PERKIN ELMER 4400采用低均匀性目标着装机构设计,用于溅射轮廓均匀性维护。此外,该系统还提供多种高性能溅射离子源,包括平面磁控管、线性磁控管和旋转磁控管。它还包括一个用于高温溅射沉积的高能源。除了支持不同种类的目标外,该单元还具有以下特点:可调底压、带集成侧壁视口的真空室、自动端站和沉积管理接口。机器还配有冷却工具,可调节基板周围区域的温度。这有助于确保溅射层在沉积过程中不会变得过热。4400包括一个过程控制资产,可帮助用户监控沉积的均匀性、厚度和速率。它还有一个功能强大的软件包,用户可以使用它来配置模型以最好地满足他们的需求。总之,PERKIN ELMER 4400是一种可靠高效的薄层沉积溅射设备。它可以精确控制沉积参数,并确保均匀性和高质量的结果。凭借先进的技术能力,它一定能满足广泛应用和用户的需求。
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