二手 PERKIN ELMER 4400 #9161732 待售

製造商
PERKIN ELMER
模型
4400
ID: 9161732
Sputtering system (3) Targets DC and RF magnetron power supplies Load lock.
PERKIN ELMER 4400是一种为各种复杂研究准备表面的溅射设备。该系统采用溅射工艺,将材料薄膜沉积在各种基板上,用于薄膜、金属掩模图桉和其他应用。高性能沉积装置利用离子源用材料轰击基板,从而产生均匀、优质、受控的薄膜表面。该机设计有一个大的工作环境,包括一个多气体歧管和气体面板,以允许各种材料的沉积。它最多可以在三个基板上运行,并且可以配备常规的直流或直流脉冲类型的溅射源。该工具的最大溅射速率为每分钟2纳米,允许快速高效的沉积过程。4400配备了磁控管源,它提供了比线性源更好的沉积速率。该资产还配备了先进的控制器,以确保过程的稳定性和可重复性,以及安全互锁机制。它还包括一个具有脉冲功率、多步排序和配方存储功能的自动控制器。控制器还具有内置温度监视器和自动关闭功能。PERKIN ELMER 4400是针对高通量沉积环境开发的,具有多种易于使用的功能,例如带有自动启动功能的彩色图形用户界面。该模型还包括一个自动基板传输机制和先进的诊断设备,以确保基板无应力传输。此外,该系统可以扩展用于多溅射应用,允许多薄膜的沉积。4400代表最新的溅射技术,可用于多种应用,包括有针对性的金属面罩图桉、蚀刻和钝化。该单元提供了用于溅射装置的最高精度、重复性和控制,可用于各种不同的研究和工业设置。
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