二手 PERKIN ELMER 4400 #9242647 待售

PERKIN ELMER 4400是一种溅射设备，有助于将多种材料沉积到半导体、绝缘体和金属等各种基板上。该系统使用户能够为开发复杂的纳米结构创建特定厚度的精确层。除此之外，它还可以用于生产多材料和多层设备。本机装有两把E-Beam枪，用于基板加热和蒸发。4400具有高精度的过程控制功能。它提供了广泛的过程，如大功率脉冲直流溅射、无功溅射和低功率直流溅射。膜的厚度可以通过过程控制参数以及溅射过程中的操作参数来精确控制。它还提供了一系列标准配方，以确保可重复和可靠的结果。PERKIN ELMER 4400的设计是由一个带平面的圆柱形室组成，用于锁载门。该机器提供了一个3英寸晶圆的载荷容量，对角线可达300毫米晶圆。在加工室内部，有磁控管源和高价值功率耦合，用于有效涂覆基板。该工具还包括可编程旋转器,可实现高达4000 RPM的旋转速度。这有助于在空间上均匀地将薄膜沉积到大基板上。此功能还提供了改进的过程均匀性和可重复性。4400资产还利用光发射光谱检测层中的杂质、夹杂物和非均匀性。这有助于测量薄膜的材料沉积速率、厚度和组成。工艺室内的温度由集成传感器监测，氮气净化控制确保了清洁的沉积背景。该模型还提供了一个健壮的MFC马达控制.该设备具有易于使用的GUI,可控制转子、门、驱动器、电源和冷却系统等不同组件。PERKIN ELMER 4400设计可靠且高效,适用于各种应用。它还设计了耐用的结构，以确保持久的性能。