二手 PERKIN ELMER 4400 #9262973 待售

PERKIN ELMER 4400是一种先进的溅射设备，设计用于将金属和其他材料的薄膜和层沉积到半导体基板上。它是一个小巧的系统，具有很高的溅射速率和均匀性，功率范围为10-300瓦。该装置具有方便的4英寸晶圆尺寸沉积能力，配有一个3目标溅射模块，每个模块能够应用12-15种材料。它具有扁平液晶触摸屏仪表、内置温带气体管理机以及可调节的双网电磁屏蔽。4400的关键特征是高速率溅射率、出色的均匀性和易于调整的溅射参数。该工具具有三个独立的目标腔室，能够进行各种基板配置。它具有可调基板温度范围约-120 -+400°C，以及强大的气体管理资产。可调压力范围为1-5mbar。在控制方面，PERKIN ELMER 4400配备了先进的Auto-Assembly编程软件，使其能够处理和校准目标计数器参数，以及编程自定义沉积模式。该型号还配备了双X-Y级配置机械臂，用于目标和基板的精确定位。为了实现平滑的物料传输,设备配备了自动化的2轴旋转传输模块,可确保整个表面的均匀性。4400还配备了一个紧密的残留气体分析仪，给用户以前闻所未闻的对其材料沉积过程的控制和精确度。综上所述，PERKIN ELMER 4400是一个先进的溅射系统，能够精确的薄膜沉积具有极好的均匀性，所有这些都在一个紧凑的单元内。其强大的功能为用户提供了比以往更精确、更精确地控制材料沉积过程的手段。