二手 ACCORD 400 #293656296 待售

ID: 293656296
Substrate cleaner.
ACCORD 400是一种晶圆和掩模洗涤器,设计用于半导体工业。此机器用于清洁和擦洗晶片或掩模的表面,以清除蚀刻或其他工艺中的残留物。它是一种高度自动化的设备,具有激光和光学综合检查能力。这种晶片和掩模洗涤器由一个不锈钢框架和一系列旋转盘组成。磁盘由直流电动机供电,设计为以可调节的速度运行。洗涤器具有受控环境,旨在减少晶圆或掩模表面的交叉污染。洗涤器还具有使用滚珠轴承的拉伸驱动系统,旨在提供最大洗涤压。400配备了最先进的激光和光学检测单元。这台机器检查晶片或掩模的表面是否有缺陷,可以编程以检测表面纹理甚至微观颗粒的差异。洗涤器还具有集成过程和生产监测系统以及集成SPC(统计过程控制)。这使得洗涤器能够监控洗涤过程的一致性并检测任何不合格的特征。洗涤器还有两种类型的抛光头;平头和角头。平头非常适合像晶圆表面这样的平面表面,而角头更适合形状或特征复杂的区域。洗涤器的可调速度确保晶片或掩模以最有效的方式抛光到所需的水平。ACCORD 400还具有湿度控制工具,可确保洗涤过程的环境保持在所需的参数之内。此外,洗涤器还具有收集灰尘的资产,可以捕获在洗涤过程中产生的任何颗粒。此除尘模型可确保擦洗后的表面没有灰尘或其他污染物。400晶片和掩模洗涤器是半导体行业的绝佳选择,因为它确保洗涤过程的准确性和一致性,并有助于减少浪费和提高生产率。该机全自动,具备激光和光学综合检查能力,可调洗涤速度,以及除尘和湿度控制设备。
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