二手 ACCRETECH / TSK A-CS-100A #9238103 待售

ACCRETECH/TSK A-CS-100A Wafer&Mask Scrubber是一种用于半导体器件生产中清洗和蚀刻的机器。机器由装有晶片的旋转室和擦洗晶片表面的擦洗臂组成。洗涤臂安装在自动臂上，该自动臂将清洁晶片压缩到旋转室上。腔室的旋转产生擦洗运动，从晶片表面去除颗粒和氧化物层。清洗过程从将晶片放在洗涤臂上开始。洗涤臂接着进行一系列的通路，将磨料浆料溷合物施加到晶圆表面。泥浆溷合物与超声波活化源结合，作用是从晶圆表面松开和去除颗粒、氧化物和其他残留物。清洗过程中使用的液体被排出，换成最后的清洗溶液。这是这个过程的一个重要阶段，因为它可以冲洗掉晶圆表面残留的残留物。任何多余的液体也被收集和储存以再利用。洗涤臂由两个独立的部件组成-刷子组件和磨料垫子。刷子组件由柔性刷毛组成，这些刷毛以快速、垂直的方式移动，从而产生积极的擦洗效果。磨料垫由硅胶基材料组成，磨损值非常低，不会损坏细腻的晶片表面。洗涤臂与控制洗涤臂运动速度和方向的I/O设备相连。该系统的设置是为了控制操作，以便有效地清洁晶片表面而不会损坏它。洗涤臂在晶片经过充分清洗后缩回，然后从腔室卸下零件。TSK A-CS-100A Wafer&Mask Scrubber是一种用于半导体生产清洗晶片的可靠高效的机器。该机设计为提供高质量的结果，对晶圆表面的损伤最小，从而使半导体器件的操作更加可靠。利用其自动化控制装置，机器可以快速高效地清理各种晶片结构。该机利用强大的洗涤机，结合超声波活化源和研磨垫，去除晶圆表面的颗粒和氧化物，使其成为半导体器件生产过程中的宝贵工具。