二手 ATMI / ECOSYS Guardian GS4 #9263190 待售

ID: 9263190
Scrubbers.
ATMI/ECOSYS Guardian GS4是下一代晶圆和面罩洗涤器,专为大批量制造操作而设计。它是一个独立的系统,在一个单元中结合了多种自动化清洁技术。它具有高速晶片和面罩清洗、高速喷雾擦洗、自动湿洗和干洗以及专用的清洁解决方桉清洗端口。ATMI Guardian GS4提供8英寸以下的晶片和18英寸以下的口罩的快速自动擦洗,使其成为目前市场上最强大、效率最高的洗涤器之一。它的多线程清洗机制允许它以高达1,500 RPM的高速清洗晶片和掩模。它采用独特的直接驱动器洗涤系统,可确保最佳清洁性能,而无需使用任何其他组件。ECOSYS/GUARDIAN GS4有一个内置的四阶段程序,可高效清洁,不受污染。第一阶段,即预擦洗模式,在用高速水喷雾清洗晶片和口罩之前加载和收集晶片和口罩。第二阶段,洗涤模式,使用自动湿洗和干洗进一步清除残留在基板上的残留物。第三阶段,清除模式,利用专用的清除端口冲洗掉任何污染物。最后,第四个也是最后一个阶段,即恢复模式(Recover Mode),利用高速气流干燥,将基板送回洁净室。监护GS4由高质量的部件和材料构成,以确保使用寿命长而可靠。其目的是尽量减少人工清洁措施的需要,从而大大节省人工和清洁用品的费用。其用户友好的软件允许用户对个别参数和设置进行编程,如洗涤时间、输出和清洁溶液浓度。ATMI/ECOSYS/GUARDIAN GS4是一种可靠且经济高效的晶圆和掩模洗涤器,非常适合大批量制造操作。其先进的技术保证了卓越的清洁性能和最高的质量水平。它为满足所有生产环境的需求提供了实质性的操作灵活性。以高科技规格,为客户提高质量,降低生产成本。
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