二手 ATMI / ECOSYS Vector Ultra 3000 #9061874 待售

ID: 9061874
Gas Abatement System.
ATMI/ECOSYS Vector Ultra 3000是设计用于半导体生产过程的晶圆和掩模洗涤器。它能够在各种晶圆和掩模尺寸上快速高效地执行表面清洁任务。ATMI Vector Ultra 3000采用了超声波振动和喷雾洗涤技术的独特组合,允许彻底清洁操作,对基板的损害最小。这种先进的晶片和掩模洗涤器非常适合半导体晶片和掩模制造的苛刻环境,具有良好的清洁作用,最小的停机时间或磨损、蚀刻或变形的风险。ECOSYS Vector Ultra 3000采用三阶段清洁工艺,以确保最佳的表面清洁效果。在第一阶段,洗涤器中填充有一溶液的肥皂水,确保所有要清洗的表面都被预先浸泡。第二阶段利用超声波振动过程搅动表面,分解可能存在于物质深处的土壤和颗粒。第三个也是最后一个阶段是喷雾洗涤过程,确保所有的土壤和颗粒都被轻轻喷洒溶液冲走。这一过程使表面完全清洁,不受污染。Vector Ultra 3000设计用于清洁所有类型的晶片,从直径最大为200 mm的扁平晶片到bin分割晶片和二进制编码晶片。洗涤器配有两个柔性喷雾臂,允许清洗各种晶圆和掩模形状配置。洗涤器还具有可调节的喷雾压力设置,可以清洁粗糙的表面颗粒或顽固的残留物。ATMI/ECOSYS Vector Ultra 3000还包含一个全面的安全系统,它可以防止任何潜在的危险物质进入单元。ATMI Vector Ultra 3000的所有组件均采用高品位、耐腐蚀的材料制造,确保了长而可靠的使用寿命。洗涤器设计为模块化,易于集成到现有的生产过程中,从而减少了停机时间和安装中断。ECOSYS Vector Ultra 3000完全自动化,能够独立于任何外部输入而运行,为半导体行业提供了一个高效、经济高效的清洁解决方桉。
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