二手 ATMI / ECOSYS Vector Ultra 3000 #9265769 待售
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ATMI/ECOSYS Vector Ultra 3000是一款先进的晶片和掩模洗涤器,旨在满足对硅片和光掩模等敏感基板进行准确、可靠和可重复清洁的需要。ATMI Vector Ultra 3000经过专门设计,可以优化清洗过程,达到最佳效果。其特点包括刷洗设备、独立的流体动力洗涤器、直接接触洗涤器、双洗涤器控制、集成显微镜照相机、高压去电离水洗涤系统和加热干燥装置。刷洗机利用高速电机驱动两个独立的刷头。刷头处于反向旋转状态或彼此同步,以便在基板的整个表面上提供均匀的擦洗。这样可以确保所有污染物均匀清除。第二种洗涤工具是流体动力洗涤器。这是利用先进的喷嘴组件产生超细的去离子水射流,这些射流指向基板以去除表面污染物。双洗涤控制资产提供了调节分支头速度和流体动力控制设置的能力,以达到最佳清洁效果。集成显微镜相机为操作员提供实时视觉反馈,可以配置为捕获整个清洁过程的图像。ECOSYS Vector Ultra 3000还具有高压脱离水冲洗模型。这样可以确保清除所有清洁化学品的痕迹,彻底清除所有污染物。最后,Vector Ultra 3000集成了加热干燥设备。这包括双热空气喷嘴和一组可调节的风扇,它们协同工作,加速蒸发,快速高效地去除基板上的水分。最后,ATMI/ECOSYS Vector Ultra 3000是一款先进的晶圆和掩模洗涤器,旨在实现以前无法实现的清洁过程。凭借其刷洗系统、独立的流体动力洗涤器、双洗涤器控制、集成显微镜照相机、高压脱离水洗涤装置和加热干燥机,能够提供一致、可靠的效果,同时提供经济高效的清洁解决方桉。
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