二手 ATMI / ECOSYS Vector Ultra 3500 #9202873 待售

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ID: 9202873
Scrubbers.
ATMI/ECOSYS Vector Ultra 3500是一款晶圆和掩模洗涤器,为最高效率和可靠性而设计。它专为单个和多个晶片尺寸而设计,具有精确的机械洗涤和化学清洁功能,可用于清洁环境。该洗涤器采用先进的化学输送系统,采用有效的旋转刷头方法,彻底擦洗晶圆和掩模表面的污染物层。该洗涤器能够在一次操作中同时清洁晶片的顶部和底部以及掩模。该洗涤器能够快速、准确地清洗多种晶圆尺寸和基板。它利用先进的泵系统和高压喷射器清除任何残留的污染物。这种洗涤器还使用可移动的、可密封的收集单元来容纳它在清洁过程中使用的颗粒和化学溶液。此洗涤器具有坚固的模块化设计,可在三重布局和群集布局中与其他设备兼容。它具有低维护设计,可以快速轻松地进行设置。使用此系统可以擦洗各种晶圆尺寸、基材和厚度。ATMI Vector Ultra 3500专为在洁净室环境中安全高效运行而设计,具有节能模式、声学盖和可变电压输入等功能。它具有应急开关的内置安全功能,在发生中断或其他紧急情况时关闭洗涤器。这种洗涤器能够比其他洗涤器方法实现更高的效率,提高吞吐量,同时降低晶圆清洗和蒙版洗涤器的成本。这在去除表面污染方面也产生了优异的效果。此外,这款洗涤器具有持久的设计,维护最少,以降低运营成本。ECOSYS Vector Ultra 3500是一款高效可靠的晶圆和掩模洗涤器,可提供卓越且经济高效的性能。对于那些在清洁环境中需要可重复的卓越效果和最高效率的人来说,它是一个可靠的解决方桉。
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