二手 BOC EDWARDS System #9038519 待售

BOC EDWARDS Equipment是一种晶圆和掩模洗涤器，旨在高效清洁来自半导体级晶圆和掩模的各种表面污染物。系统包括一系列喷射喷雾、热水箱和化学集中器，将自来水转化为去离子水。一次最多可清理20个晶圆或12个口罩，清洗周期时间不到17分钟。BOC EDWARDS单元从喷射喷雾区开始,使用多达10个清洁喷嘴。该区域旨在完全清除所有类型的污垢、砂砾、灰尘和其他表面残留物。晶片和掩模在喷射喷雾下通过，喷射喷雾经过精心设计，以确保最大覆盖范围。喷射喷雾区之后是一个自动热水箱。它用于进一步清洁和冲洗残留的残留物。这个水箱还配备了循环水泵，以不断消失水中的化学浓度。然后，机器移动到化学选矿厂，在那里，超过滤的自来水被转化为无化学物质的去离子水。这些水经过预热，然后泵回热水箱。从那里，晶片和口罩被运到气刀烘干机。这款烘干机利用高速连续气流彻底干燥晶片和口罩，使它们没有水分。中银爱德华兹工具的最后阶段是臭氧冲洗模块。本模块将臭氧（O3）引入Asset, Asset可作为除雾剂,同时提供额外的清洁度。它破坏细菌和有机化合物，同时提供额外的卫生益处。为确保BOC EDWARDS模型在运行过程中的安全性和效率,提供了一个可编程逻辑控制器（PLC）。这样可以方便地进行故障排除、自动化的数据记录设备和方便的远程监控。为了进一步提高安全性，中银爱德华兹系统还配备了一个车载计算机控制单元，用于报警和覆盖功能。BOC EDWARDS Machine是一款高效、可靠、易于使用的晶圆和掩模洗涤器，适合多种应用。通过组合一系列强大的喷射喷雾、热水箱、化学集中器和臭氧冲洗模块，Tool能够在不到17分钟的时间内清理多达20个晶圆或12个面膜，同时避免不必要的残留。此外,自动车载计算机控制还增加了一层额外的安全性和安全性,同时还使故障排除和远程监控操作变得更加容易。