二手 BROOKS AUTOMATION Fixload TM #9401143 待售

BROOKS AUTOMATION Fixload TM是一款晶圆和掩模洗涤器,旨在解决半导体晶圆和掩模物理缺陷的难题,从而提高芯片制造商的产量。这种创新的、具有成本效益的洗涤器具有多种特性和功能，能够更有效地清洁，不会污染晶片和口罩。这台机器由一个高架、蜿蜒的环形交叉路口的擦洗甲板组成。甲板作为基板支架，回旋处是清洗和干燥它们的车辆。这一有用的功能有助于减少接触点的数量，这些接触点可能会对基板造成污染，从而延长清洁时间。主洗涤模块包含两个独立的洗涤区域，设计用于同时消除基板表面两侧的物理缺陷。这有助于确保均匀的表面特性，并消除晶圆或掩模上任何可能的污染物堆积。Fixload设备利用强大的湍流空气射流，这些射流指向基板，可以调整到目标表面。洗涤过程得到了串联粒子检测系统的支持，该系统允许均匀和受控的洗涤。该装置采用强大的激光和照相机，对缺陷进行扫描和分析，为制造商提供有关洗涤过程状态的实时反馈。Fixload提供全自动晶片和掩模清洁过程,确保最高级别的清洁度和准确性。该机能够处理多种不同类型的基板，从堆迭模具到薄膜再到多级FEOL和BEOL。它还能够以无与伦比的性能和精度清洗100毫米和200毫米晶圆。总之,Fixload TM是一款功能强大且高度自动化的晶片和掩模洗涤器,它为消除半导体晶片和掩模上的物理缺陷提供了全面且经济高效的解决方桉。它提供卓越的性能、准确性和过程控制,同时提供全自动清洁过程,以保证更清洁的基板。BROOKS AUTOMATION Fixload TM具有处理各种晶片和掩码的能力,对于希望减少不合格产品和提高利润的芯片制造商来说,它是一个非常宝贵的工具。