二手 C-SUN PRS #9283776 待售

ID: 9283776
优质的: 2010
Scrubber Material of chamber: Aluminum alloy whit surface treatment Inner chamber: Ø 380 mm x H 305 mm Application of solar cell: Edge isolation Texture Inductively Coupled Plasma (ICP) source RF Generator: 13.56 MHz, 1000 W Standard gas: O2 Gas flow control: Analog type MFC Dry pump: >150 m³ / hr Base pressure: >10^-2 Torr Process pressure: 50~200 m Torr Automatic system: 15" TFT Panel / IPC / Windows 2000 XP 2010 vintage.
C-SUN PRS是一种自动化晶片和掩模洗涤器,旨在为半导体制造提供先进的清洁、高效的晶片边缘污染去除和边缘珠子重新设计应用。PRS是一种双单元设备,能够并行执行两种操作,从而最大限度地减少了总工艺时间,提高了成本效率,同时达到了产量和工艺质量的最高行业标准。C-SUN PRS采用机械刷牙和晶片边缘清洁技术相结合,提供一流的晶片边缘污染去除。专门设计的晶片边缘模板可帮助工程师控制画笔长度并精确控制清理角度,以减少暴露事件或事故。有各种可定制的刷牙压力设置,设备可以轻松调整刷子速度和压力根据模具尺寸和类型。符合人体工程学和直观的设计使操作员能够以更高的精度和安全性快速执行晶片边缘清洁操作。PRS还包括先进的面膜洗涤技术,它允许快速和完全去除任何颗粒物,即使是最麻烦的残留物。抛光的晶片表面随后通过专门设计的化学反应器,以去除残留的材料和污染物。自动化学分析功能有助于操作员快速识别最合适的清洗溶液,同时优化的温度和湿度控制确保晶圆的最佳性能和收率。C-SUN PRS附带了一系列旨在最大化吞吐量和增加便利性的高级功能,例如用于跟踪从机器启动到完全单元关闭过程的集成RFID系统。可选的自动墨盒更换机允许晶片边缘和掩模清洁操作之间快速轻松切换,使操作员无需人工干预即可完成任务。PRS提供了一系列完全集成的用于晶片清洗、Edge ReDesign和掩模擦洗的软件工具,提供了在制造前后保持清洁和功能性晶片的高效且经济高效的方法。从简单的维护用户到先进的边缘维护用户,这种自动化的晶圆和掩模洗涤器是实现最高产量和质量的理想选择。
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