二手 CONVAC DSS 200 #105098 待售

ID: 105098
晶圆大小: 8"
Double sided scrubber, 8" Stainless steel construction.
CONVAC DSS 200是一种晶圆和掩模洗涤器,广泛应用于半导体制造过程中。它是专为提供无与伦比的清洁性能精致硅片和光掩模,同时确保无污染的环境。DSS 200配备了许多高级功能,以确保无污染环境。它采用高效的后波纹散装气室,增加气流,减少洁净室污染。洗涤器还配备了环境警报设备,这将提醒用户清洁室环境的任何异常变化。该系统配备了一个褶皱过滤器,以便更有效地去除颗粒。洗涤器的设计目的是达到低至0.5颗粒/平方厘米空气的污染水平。经过硅、抗蚀剂等多种材料的试验,在除粒方面取得了优异的效果。洗涤器能够清洁整个基板表面,包括角部和边缘,往往难以到达。此外,CONVAC DSS 200配备了一个自我监测单位,使其能够以最高效率运作。采用自动温度控制机设计,可实现晶圆、面膜和基板的最佳清洗性能。此工具还使洗涤器能够连续运行,从而确保在多个清洁周期中保持一致的结果。DSS 200设计用于将洁净室污染降至最低。它配备了HEPA过滤器资产和洁净室排气控制模型,能够将微粒水平降至最大可接受限值的1/10。它还配备了一个污染收集设备,在纳米过滤器耗尽之前将颗粒捕获,从而最大限度地减少洁净室内的污染。最后,CONVAC DSS 200配备了方便用户的界面,便于配置和维护。用户友好的设计使其易于使用和设置。该系统能够提供实时状态更新,并且可以连接到PC或联网打印机以进行动态监控和维护。总体而言,DSS 200是一种可靠高效的晶圆和光掩模洗涤器,可提供无与伦比的清洁性能和污染控制。其先进的特点和用户友好的设计使其成为半导体生产的理想选择。
还没有评论