二手 CONVAC DSS 200 #9053125 待售

ID: 9053125
晶圆大小: 8"
Scrubbers, 8" Double-sided Stainless steel.
CONVAC DSS 200是一种晶圆和掩模洗涤器,设计用于半导体器件制造设施。它是一个独立的单元,通常直接放在洁净室入口前面或洁净室本身。DSS 200采用双级洗涤工艺,可在晶片和面膜(模版、薄膜、镜框、光盘和条带)进入洁净室之前有效地进行清洁。洗涤过程的第一阶段利用装入设备的化学片剂,这些片剂储存在可移动抽屉中。化学药片慢慢释放到内室,这会导致模拟的阵雨到内部的组件上。这种淋浴可以清除晶片或面罩中的灰尘、污垢和其他污染物,这些污染物会在洁净室环境中造成污染。洗涤工艺的第二阶段采用双面洗涤块。该块用一种特殊的清洁化合物处理,使其能够轻松地除去第一阶段化学烟雾中未除去的任何污染物或残留物。该块在晶片或掩模上旋转,同时喷射产生真空,将碎屑从表面移出,使其进入收集箱。完成洗涤周期后,将停用CONVAC DSS 200,然后打开门以检索已清洁的组件。然后可以腾空设备,然后使其干燥以用于下一个清洁周期。DSS 200是改善半导体器件制造设施中洁净室环境的可靠、高效和经济高效的方法。除了提供卓越的清洁服务外,CONVAC DSS 200还通过减少工作人员在额外清洁和维护上花费的时间来帮助控制成本。
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