二手 CS ENG CTS 5500 #9373016 待售

CS ENG CTS 5500是一种晶圆和掩模洗涤器设备，设计用于自动化和增强半导体生产过程中使用的图样晶圆和掩模的清洁。该系统能够清洗广泛的基材材料和形状，如圆形、矩形和不对称晶片，以及矩形和熨斗。CTS 5500单元采用双洗涤器配置，一侧为高速高效洗涤器，用于较大的晶片，另一侧为较小的晶片，使用速度较慢、功率较大的洗涤器。这种双面擦洗工艺可以更好地覆盖晶片和蒙版区域,同时降低损坏图样特征的风险。CS ENG CTS 5500配备了使用高技能、直观编程的Surface Plate Detection机，使洗涤器能够检测和瞄准晶圆和掩模上的亚微米粒子。这种先进的工具可确保晶圆和掩模表面的完全清洁,而不需要人工干预。此外,CTS 5500还包括内置的声音优化真空设备和集成的Cool Jet Siphon,可帮助保护晶片和掩模免受擦洗摩擦造成的过热和潜在损坏。CS ENG CTS 5500型号提供了完全集成的过程控制设备,具有用户友好和直观的图形用户界面（GUI）。此GUI使用户可以轻松配置洗涤器参数、监控洗涤器性能,并轻松控制整个晶圆和面膜清洁干燥过程。该系统还附带了几种标准配方，可根据需要使用和修改。CTS 5500是一个坚固、可靠、高效的洗涤器单元,它为晶片和掩模提供了一个完整的洗涤器解决方桉。它具有清洁各种基材形状和尺寸的能力，其先进的洗涤技术确保了每个晶片和掩模表面的完整、一致和有效的清洁。CS ENG CTS 5500刀具具有用户友好的GUI和集成的过程控制机床,是提高清洁效果、最大限度降低时间和能源成本的理想选择。