二手 CSK HEATS-05 #293647981 待售

CSK HEATS-05是为清洁半导体器件而设计的高效自动晶片和掩模洗涤器设备。该系统是CSK Heats系列洗涤器的一部分，用于半导体器件制造。该装置采用低真空清洗工艺，利用电离空气清除晶片和口罩中的污染物。这一过程能够除去任何低至20nm的颗粒，这使得从装置表面除去颗粒是有效的。该工艺还可以在固化和光刻之前对粗糙或划痕的表面进行出色的清洁。该机主要由三个部分组成：一个压板、一个真空室和一个电源。压板是一种防辐射铝工作表面，由内置加热器加热到所需温度。真空室设计成循环吸入工具中的空气，而电源则为资产供电。压板上装有两个晶圆垫和四个擦洗头，这些擦洗头在晶圆或面膜表面移动以进行清洁。可以将压板加热至200 °C的最高温度，以便有效清洗。经过电离空气处理后，将晶片放在压板上进行干燥，并用紫外线或激光进行固化或光刻处理。模型能够处理晶片或蒙版，最大尺寸为8 "x 10"，最长循环时间为60秒。HEATS-05提供了一个一致和可靠的清洁过程，易于操作，并提供了晶片和口罩的安全清洁。设备与广泛的器件制造工艺兼容，使其成为任何半导体器件制造商的绝佳选择。