二手 CSK HEATS-05 #9278131 待售

CSK HEATS-05是一种晶圆和掩模洗涤器，常用于半导体制造，包括光刻、蚀刻和沉积。该洗涤器设计用于清洗和清洁芯片制造中使用的加工设备。它是一种采用电解清洗技术的再循环流动床洗涤器，承诺高效清洁，尽量减少化学品、水和磨砂材料的消耗。这一过程是在密封室内进行的，能够清除有机污染物、粉尘颗粒和炉渣以及其他生产房屋残留物。清洗室分为三个不同的区域：第一个区域是要清洗的晶片、口罩或其他材料的进入；第二个区域是处理要清洗的材料；第三种是储存和回收过程介质（通常是去离子水溶液）的水箱和过滤器单元。该选项中使用的清洁剂是硼氢化钠和表面活性剂的溷合物，其分解并松开附着在底物表面的颗粒或粉尘。清洁液通过刷辊洗涤器循环，基板暴露一定时间，以确保完全表面清洁，空气中的温度达到80摄氏度。清洗过程完成后，再将基材冲洗干燥。HEATS-05专为重型全天候清洁工艺而设计，适用于高产能芯片制造。它具有较高的速度和效率,以及较低的噪音和振动水平.洗涤器装有嵌入式控制系统，使洗涤和洗涤过程自动化。此外，该设备具有监测时间、搅拌水平、温度和清洁剂浓度等参数的能力，由传感器系统和专用控制软件进行监测。CSK HEATS-05的整体设计可靠、坚固,即使在恶劣的生产环境下也注重一致、高效的运行。该装置方便用户，可调整用户，便于清洁机器优化，对清洁过程提供更大的灵活性和更好的控制。该工具还配备了不间断清洁安全功能，以确保安全操作。总体而言，HEATS-05为生产半导体芯片所需的各种晶圆和掩模清洁要求提供了高效、安全和可靠的清洁资产，提供了高度的可靠性、一致性和成本效益。