二手 DAITRON ARIS LCD 100 #9285702 待售

DAITRON ARIS LCD 100
ID: 9285702
System.
DAITRON ARIS LCD 100是一款为超洁净室应用而设计的多合一晶圆和面罩洗涤器。该洗涤器采用全封闭、气密的钢制橱柜,旨在确保洗涤器在洗涤过程中对环境的污染降至最低。洗涤器由一个不锈钢腔室和一个由拉丝铝制成的外壳组成。DAITRON ARIS-LCD100有初级和次级两个洗涤阶段。在初级阶段,使用结合了超声波清洁设备(UCS)和表面磨砂系统的工艺来提纯晶片。UCS应用高频高压超声波深入晶片,允许有效清除有机和矿物污染物。表面磨砂装置用四个旋转的刷子进一步抛光晶片,使晶片表面得到更好的光洁度。次要阶段集中于彻底清洁口罩。在这一阶段,自动机械臂有助于精确定位每个面罩在精确设计的喷嘴前,允许有目标的高压蒸汽喷洒,完全清除面罩表面的任何颗粒物。清洁机还设有自动晶片调节机构,可高效清洗不同尺寸的晶片。ARIS LCD 100还具有PLC控制工具,它提供了用户友好的触摸屏界面,可轻松、精确地控制晶圆清洗过程。PLC控制资产还在清洁室内提供严格的温度和湿度控制,以便始终保持晶圆表面和掩模的精确清洁参数。ARIS-LCD100以其卓越的性能和卓越的清洁能力,非常适合超洁室应用。它确保从晶片和掩模中完全清除污染,而不会影响质量、准确性或清洁速度。
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