二手 DAITRON DSC-100CV #293597882 待售
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ID: 293597882
优质的: 2012
Wafer scrubber, 4"
Type: Dual
Pusher
Loader
Conveyer
High-pressure spray washer
Scrub washer
Feeder
Unloader
Surfactant supplier
Operation and control unit
2012 vintage.
DAITRON DSC-100CV是由日本公司DAITRON设计开发的晶圆和掩模洗涤器。DSC-100CV设计用于在光刻工艺和洁净室环境中清除晶片、口罩和其他敏感材料中的灰尘和颗粒。DAITRON DSC-100CV采用温和的空气/刷洗系统,将高速空气射流和旋转刷结合在一个单元中,允许残留物自由清洗晶圆、口罩等敏感材料。擦洗方法采用空气和刷子动作的严格控制平衡,轻轻擦洗材料,没有灰尘和颗粒。这种独特的擦洗方法优于去除颗粒,同时仍能保护表面免受污染和损坏。DSC-100CV非常有效地清洁各种材料,包括半导体晶片、光掩模、硅片、抗蚀膜和蒸发金属。洗涤器具有内置传感器,可准确读取要洗涤的材料表面,从而实现精确清洁,并提高工艺运行的屈服率。DAITRON DSC-100CV极具效率和成本效益,能够在不使用溶剂或开发加工化学品的情况下每小时清洁200个晶圆。这样可以真正节省与洁净室环境相关的工时和成本。洗涤器还具有内置诊断系统,可帮助用户监控洗涤器的性能并确定洗涤器是否需要维护。DSC-100CV是一种可靠有效的晶片和面罩清洁解决方桉,使清洁室操作能够保持较低的污染速率,同时最大限度地降低工艺成本。洗涤器也被证明在实验室环境中使用是安全的,这意味着工作人员可以使用洗涤器而无需特殊的防护装备。这使得DAITRON DSC-100CV任何洁净室环境的一大财富。
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