二手 DAITRON DSC-100CV #9294598 待售

ID: 9294598
Wafer scrubber.
DAITRON DSC-100CV是专门为半导体工业设计的自动化晶圆和掩模洗涤器。它是一种高度可靠、精密的晶片/掩模清洁设备,提供最高水平的表面清洁质量性能。洗涤器采用机器人湿洗和干洗相结合的方式,对矩形和方形晶片及掩模表面进行高效、精确和高性能的清洗。洗涤器采用了一种带有A/D转换器平台的注册、积分运动算法,使系统稳健稳定。晶圆清洁头包括一个带有四个可调节旋转刷头的旋转头,以及两个可调节的摆动刷头和两个可调节的垂直移动刷头。洗涤器还具有一个高性能的气动夹具单元,用于处理直径达200毫米的晶片。此外,洗涤器还装有一个双面、高度可靠的磁盘,用于从晶圆和掩模的两侧清除微粒。磁碟由高速步进马达供电,可控制清洁性能的速度和强度。洗涤器配备了一系列确保安全稳定运行的安全功能,包括E-stop按钮、压力和温度传感器以及安全互锁机构。它还包括集成的视觉和音频警报,以及用于提醒操作员潜在问题的定向轻型机器。洗涤器还具有用户友好、直观的界面,便于操作和调整不同类型的晶圆和面膜清洗。它的内置通信接口还允许连接到外部计算机以进行数据记录和监视。洗涤器只需要极少的维护,操作效率高、可靠。综上所述,DSC-100CV是一种高度可靠、精密的晶圆和掩模洗涤器,为半导体行业提供最高水平的清洁性能。它设计为直观高效,具有一系列安全功能和用户友好界面,易于操作和配置。
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