二手 DAS ESCAPE #9300744 待售

DAS ESCAPE是一种晶圆和掩模洗涤器，旨在保持半导体制造中尽可能高的清洁水平。特别适用于蚀刻后和光刻后湿清洗工艺。ESCAPE有一个符合人体工程学的设计，可以将它整合到现有的生产线中。洗涤器配有通电的磨砂刷，可针对各种清洁任务进行调节。晶片可以通过三种方式之一加载到洗涤器中-通过盒式磁带、盒式磁带机架或手动方式。当两个刷子开始向前和向后独立旋转时,两步批清理周期开始。这就产生了施加到晶片上的旋转冲击，产生了非常适合清除污垢和碎屑的高擦洗力。DAS ESCAPE是完全自动化的,具有可编程的画笔旋转参数选择以及提供清洁参数读数和过程结束警报的过程控制器。晶片盒式磁带会自动建立索引,以便正确定位,并且洗涤器一次可清理多达100个晶片。此外,洗涤器还设有一个大窗口,便于在过程中监控零件。洗涤器还配备了不平衡载荷检测器、防溅板等安全功能，防止飞溅，以及室门互锁，防止清洁过程中进入旋转的刷子。洗涤器还依靠多种标准过滤器和净化空气，有效地从清洁过程中捕获颗粒，确保洗涤器中的空气清洁。ESCAPE易于维护，只需要定期更换磨砂刷和过滤器。磨砂刷的设计可持续多次清洁周期，过滤器设计为在发生污染时易于更换。洗涤器还支持快速的坡道上升时间，以减少清洁周期之间的停机时间，并且设计为满足最高的清洁标准。