二手 DAS V01.0082 #293627092 待售

DAS V01.0082是一种晶圆和掩模洗涤器，旨在帮助半导体制造的生产过程。它是一个自动化系统，一次最多可处理四个8英寸晶圆和一个5英寸的掩模。洗涤器采用阳极氧化铝和不锈钢制成，具有独特的弧形设计，可实现光滑、均匀的清洗工艺。洗涤器设计有一个组织托盘，可容纳多达四个8英寸晶圆和一个5英寸面罩。它有两个可调灯进行检查和无检查操作。还有两种不同的控制面板：一种用于晶圆处理，另一种用于掩模处理。此外，洗涤器还允许化学去除、抛光、脱脂和一般清洁等工艺。洗涤器配备了自己的水泵系统，用于连续更换洗涤过程中使用的水。它还配备了一个两级过滤系统，用于清除任何在洗涤过程中无意中从晶片或掩模中分离出来的颗粒。这样可以确保所有污染物都能正确清除。洗涤器还具有位于后面板上的柔性喷雾式调节旋钮，可用于根据正在加工的材料定制洗涤臂的喷雾式。这在擦洗可能具有不同表面成分的晶片和掩模时特别有用。洗涤器的设计具有多种安全特性。例如，洗涤器配有一个安全开关，在发生任何异常时自动关闭洗涤器，如过热或过度振动。洗涤器的后板上还有一个紧急停止按钮,该按钮会中断电源,并允许在发生事故时安全关闭。DAS V01.0082晶片和掩模洗涤器是一种可靠、高效的半导体制造工具。它能够一次处理多个晶片和口罩，并为不同的材料提供可定制的喷涂速率。此外，该单元还配备了若干安全功能，以确保操作员和正在处理的部件的安全。