二手 DISCO DCS 140 #293671766 待售

DISCO DCS 140
ID: 293671766
Wafer cleaning system.
DISCO DCS 140是晶圆和掩模洗涤器,旨在优化半导体器件的效率和质量。它采用机械和化学表面清洁的组合,以取得优异的效果,根据手头的任务提供压力射流或空气刷刷选项。该设备采用7英寸液晶触摸面板和PC接口,操作方便快捷。它配备了两个车载离心风扇涂层、四个精密居中子级和一套化学储罐。这使得它可以同时处理各种大小、形状和厚度的多个基板。晶圆洗涤器具有多种冲洗功能,包括浸泡冲洗、循环冲洗、GFET冲洗和冷蚀刻冲洗,所有这些都是为了去除基板表面的颗粒、残留物和污染物。面膜洗涤器采用双纺刷和独特的DI冲洗系统,去除面膜表面的有机和无机颗粒污染。洗涤器可以设置为连续进行晶片和面膜清洗操作,节省了宝贵的生产时间。该设备提供了广泛的流程参数,使用户能够根据自己的特定流程需求对性能进行微调和优化。它可以与各种工艺相结合,如表面分析和表征、热蚀刻、电镀、CVD/ALD溅射沉积等。DISCO DCS140是一种可靠高效的晶片和掩模洗涤器,适用于从研究到大批量生产的各种半导体工艺。它设计方便操作和使用,产生优质的产品。
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