二手 DISCO DCS 140 #9149451 待售
网址复制成功!
单击可缩放
ID: 9149451
Wafer cleaning system
Workpiece size: Φ8"
Applicable tape frame size: 2~8"
Table roating speed: 0~3000 min-1[rpm]
Spinner discharge pressure: 2.0 - 12.0 (MPa)
Air: 0.5MPa 216L/min
N2: 0.5MPa 54L/min
Water: 0.1MPa 0.1L/min
Power: Single phase 100V, 1.5KVa.
DISCO DCS 140是一种晶片和掩模洗涤器,设计用于对各种基板上的半导体器件连接、掩模和晶片进行自动清洗。该装置特别适用于超高密基板和精细螺距的应用。DISCO DCS140使用独特的非磨料洗涤系统,安全地清洁和清除各种基板上的表面残留物,如光致抗蚀剂、粘合剂和氧化物,而不会对底层材料造成损害。洗涤器配备了一个盘状的头部,每分钟可旋转高达40,000转(RPM)。这创造了一个理想的洗涤力,以有效地去除表面污染物。DCS 140高度可定制;通过调整洗涤速度和头部转数,可以很容易地将洗涤器设置为不同的清洁力和速度。这样做可以减少过度加热或磨料清洁细腻基板的风险。此外,洗涤器可以编程为以特定角度启动和停止,从而能够精确控制清洁电源。除了先进的洗涤功能外,DCS140还具有易于使用的界面和内置的控制系统。这使得精确和可重复的清洁操作易于执行。此外,内置的安全功能确保设备安全使用,为用户提供可靠和安全的洗涤系统。DISCO DCS 140是一款低成本、高性能的洗涤器,为可靠有效的清洁操作而打造。它旨在优化产量,减少清洁各种敏感基板所需的时间。此外,它的模块化设计允许用户根据其特定需求快速轻松地定制设备。因此,DISCO DCS140可以成为适合各种半导体和消费产品的理想晶圆和掩模洗涤器。
还没有评论